氟膠板永久變形由于O型圈密封圈用的合成橡膠材料是屬于粘彈性材料，所以初期設(shè)定的壓緊量和回彈堵塞能力經(jīng)長(zhǎng)時(shí)間的使用，會(huì)產(chǎn)生永久變形而逐漸喪失，發(fā)生泄漏。永久變形和彈力消失是O型圈失去密封性能的主要原因，以下是造成永久變形的主要原因。低Outgassing 特性    優(yōu)異之抗Plasma特性    缺點(diǎn)：      耐低溫特性較差   原料價(jià)格較高     生產(chǎn)難度較高  全氟系列產(chǎn)品廣泛地運(yùn)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運(yùn)用, 運(yùn)用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。   12,丙烯酸酯橡膠ACM     (Polyacrylate Rubber) 由 Alkyl Ester Acrylate 為主成份聚合而成之彈性體，耐石化油、耐高溫、耐候性均佳，在機(jī)械強(qiáng)度、壓縮變形率及耐水性方面則較弱，氟膠板比一般耐油膠稍差。一般使用溫度范圍為 -25~170 ℃。